富芯半导体取得双束系统样品承载台专利，避免了窗帘效应
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2026-07-23 01:43:59
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国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司取得一项名为“双束系统的样品承载台”的专利，授权公告号CN224537050U，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种双束系统的样品承载台，涉及半导体制备技术领域，该双束系统的样品承载台具有第一承载部和限位结构，第一承载部用于承载样品，限位结构用于对样品进行限位。第一承载部具有第一承载面以及第一平面，第一承载面与第一平面之间具有第一夹角。由于样品在进行处理时会置于第一承载面上，而该第一夹角与离子束轰击角互补，此时不用对承载台进行旋转，就可以使双束系统中的离子束垂直打到样品的取样面，之后设置限位结构的侧壁与离子束的轰击方向之间形成第二夹角，该第二夹角为0度‑90度，使得离子束的轰击方向与取样面之间不垂直，从而让离子束不能直接到达取样面内的沟槽的底部，进而避免了窗帘效应，提高了检测结果的准确性。
天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息380条，此外企业还拥有行政许可28个。
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来源：市场资讯
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