日前,湖北兴福电子材料股份有限公司发布公告,以4626.78万元收购湖北三峡实验室重大科技成果“光刻胶用光引发剂制备专有技术及实验设备所有权”。这项半导体领域“卡脖子”技术走向市场后,将打破该材料长期被境外企业垄断的局面。

湖北三峡实验室科研人员正在从事半导体光刻胶用光引发剂试验。(通讯员 李阳 摄)
湖北三峡实验室光引发剂项目研发负责人介绍,此次转让的成果G/I线光刻胶用光引发剂的关键技术,主要用于芯片和显示领域。
芯片制造需要几百种设备和材料,其中光刻机和光刻胶是常被提起的“卡脖子”产品。而对光刻胶的感光度和分辨率起决定性作用的,就是光引发剂。“目前,在国产芯片和显示领域,光刻胶用光引发剂几乎全部依赖美日韩进口。”该负责人表示。

湖北三峡实验室。(资料图片)
“这是一次市场需求倒逼的研发创新,企业出题,实验室答题。”湖北三峡实验室主任池汝安透露,微电子新材料是三峡实验室的研究方向之一,近年来,许多半导体客户表示,因光引发剂遭遇限购和断供,国产光刻胶多次被“卡脖子”,给国内半导体产业链的生产带来极大压力。
在历经三年研发攻坚后,今年5月,上海一家光刻胶龙头企业回复三峡实验室:“送样各项指标与国外进口厂商达到同一水平。”随后,中试样品在多家光刻胶企业都通过了初轮验证,相关技术终于具备产业化条件。
池汝安介绍,该成果已进入产业化前期阶段,投产后将成为湖北第一条光刻胶用光引发剂生产线,对我国光刻胶产业发展将起到积极作用。
来源:长江云新闻