德州仪器申请具有铰链层级致动的非接触式微机电系统装置专利，实现非接触式致动
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2026-01-07 15:18:59
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国家知识产权局信息显示，德州仪器公司申请一项名为“具有铰链层级致动的非接触式微机电系统装置”的专利，公开号CN121269608A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本公开涉及一种具有铰链层级致动的非接触式微机电系统装置。微机电系统装置(400，图5A)包含：衬底(403)；第一电极(406A)，其在所述衬底(403)上；第二电极(410A)，其在所述衬底(403)上，第一间隙(430C)在所述第一电极(406A)与所述第二电极(410A)之间；第三电极(408A)，其在所述衬底(403)上；第四电极(410B)，其在所述衬底(403)上，第二间隙(430A)在所述第三电极(408A)与所述第四电极(410B)之间；第一电极焊盘(404A)，其在所述衬底(403)上；第二电极焊盘(404B)，其在所述衬底(403)上；以及铰链(411)，其在所述第一电极焊盘(404A)与所述第二电极焊盘(404B)之间延伸。所述铰链(411)具有第一延伸部(418A)和第二延伸部(418C)，所述第一延伸部(418A)在所述第一间隙(430C)上方且所述第二延伸部(418C)在所述第二间隙(430C)上方。
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来源：市场资讯
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