江苏首芯申请真空镀膜设备观察窗防污染专利，避免溅射污染高透玻璃
创始人
2026-01-21 13:30:37
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国家知识产权局信息显示，江苏首芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种真空镀膜设备”的专利，公开号CN121344552A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本说明书实施例提供一种真空镀膜设备，包括观察窗结构、衬套和观察窗通道；所述观察窗通道设置在真空镀膜设备的腔体侧壁上，观察窗结构与所述观察窗通道相连接，观察窗结构的中心处设置有高透玻璃；衬套设置在观察窗通道内并与观察窗结构相抵接，观察窗通道与气路相连，气路用于将惰性气体经衬套输送至腔体处，以减少腔体内原有的气体扩散至高透玻璃处。本设备通过在观察窗结构处增设一个与气路连通的衬套，可将惰性气体导流至腔体处，从而减少乃至隔绝腔体内的气体扩散至观察窗结构的高透玻璃处，避免溅射污染高透玻璃，有利于保证高透玻璃的观察效果。且本设备结构简单，易于操作，有利于降低设备成本和人力成本。
天眼查资料显示，江苏首芯半导体科技有限公司，成立于2023年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1433.9071万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏首芯半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可22个。
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来源：市场资讯
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